运用X域 3C电子、新能源、分析仪器X域、其他
应用示例 *晶圆搬运 *设备点胶
丝杠传动普通X±0.02mm(研磨X±0.01)的重复定位精度;齿条传动普通X±0.04mm的重复定位精度;直线电机传动普通X±0.005mm的重复定位精度;同步带传动的±0.05mm重复定位精度。
特性和X点 *组合形式多 *重复定位精度高 *交期快 *噪音小