北京双玉科技有限公司
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产品编号：20211214-05
销售厂家：固安县双玉仪器有限公司
实验方法
利用体模内某些特殊结构所成图像得到层厚,既可以利用层面的剖面线(Slice Profile)的)大半高宽(FWHM)得到层厚,也可以在窗宽、窗位调节好的情况下直接测量层厚。对于不同的结构,使用的方法也会有所不同。
临界值法
对于SM170体模,根据大半高宽测量层厚,具体操作时应取斜面投影区域附近的信号值,设窗宽为0,调整窗位至斜面投影湮没,得到的窗位值为临界值。临界值与斜面投影区域附近信号值求平均,以此平均值为窗位,测量显示的斜面投影长度1
剖面线法
直接在模块成像上沿四个斜面投影取剖面线(profile曲线),月视估测剖面线的FWHM.或使用软件读出此剖面线上每隔一定距离的各点数据(本文实验取点间隔为0.625mm) ,导入MATLAB重新做出剖面线,利用计算机获取准确的值及二分之一值间距,计算求得FWHM.层厚为大半高宽的四分之一(斜面倾角为15" ,正切值约为0.25)。
强度值曲线法
体模还可以根据投影方块像素值曲线的FWHM求出层厚。按阶梯顺序求得各相邻投影方块信号强度值,以阶梯序数为横坐标,以信号强度值为纵坐标绘制曲线,求FWHM,即层厚。
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产品编号：20211214-05
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层厚阶梯体模
